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无尘机器人
用于半导体和电子工业
Nt系列机器人
高性能特殊搬运机器人
川崎重工为该行业提供了全系列的半导体和电子搬运机器人。这些机器人是专门为无尘房间设计的，包括ISO 1。速度、精度和范围使这些机器人适合处理复杂的半导体晶圆片、液晶面板、有机EL和太阳能面板。
只有一个机器人，没有步行设备，可以支持2到3个foup的EFEM。
精度高，运动平稳。川崎* *驱动装置实现了高精度、高刚性的运行。
符合semi-f47标准。
符合semi-s2标准。充分考虑环境和安全。>实现更高的吞吐量在高速
川崎提供了多种适用于ISO 1、2、5级无尘房间分类的机器人和设备。工业机器人的洁净室骄傲的* *速度、重复性和可靠性,这些强调需求增加,行业的关键因素,为洁净室应用程序开发的机器人手臂的设计考虑到了易用性,包括臂电缆和管道技术,接口连接到外围设备的标准,以及半导体系列全自动晶片加工的教学方案。
川崎拥有高速、准确和可靠的技术，可以帮助您实现无尘房间自动化的目标。
更多信息请点击:川崎机器人